UCD-15-4UCD型超聲波液位變送器
| 產(chǎn)品圖片 |
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| 產(chǎn)品簡介 |
| UCD型 超聲波液位計性能穩(wěn)定，價格低廉，精度高，具有模擬量，開關(guān)量及數(shù)字信號同時輸出的功能，防水外殼，適用于一般場合的液物位檢測。其主要芯片采用飛利浦工業(yè)級單片機(jī)，數(shù)字溫度補(bǔ)償和相關(guān)專用集成電路，抗干擾性強(qiáng)，可任意（自定義設(shè)定）設(shè)置上下限及在線輸出調(diào)節(jié)，并帶有現(xiàn)場顯示，模擬量，開關(guān)量及RS485，輸出，可方便與主機(jī)連接。適用于石油、化工、自來水污水處理、水利水文、鋼鐵、煤礦、電力、交通以及食品加工等行業(yè)。 |
| 產(chǎn)品選型表 | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 技術(shù)參數(shù) |
| 供電電源：24VDC 輸出信號：四線制4～20mＡ+RS485+開關(guān) 測量范圍：0.3～15m 精度等級：1.0級 環(huán)境溫度：-20～70℃ 顯 示：4位LCD 聲束角：≤15° 出 線 口：M20×1.5內(nèi)螺紋 安裝法蘭：DN65 PN1.0MPa RF |
| 安裝示意圖 |
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| 公司位置 |
| 我所在位置（遼陽自控儀表有限公司）
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| 公司簡介 |
| 遼陽自控儀表有限公司『曾用名：遼陽市文星自控儀表有限公司』始建于一九八九年，占地面積5000平方米，地處古城遼陽。 遼陽自控儀表有限公司是中國石油天然氣（集團(tuán)）總公司、中國石油化工總公司定點(diǎn)生產(chǎn)企業(yè)，是物位儀表和防爆電器專業(yè)制造商。公司技術(shù)力量雄厚，設(shè)備精良，檢測手段齊全，員工素質(zhì)高，擅長設(shè)計、研制和生產(chǎn)新型特殊液位測量儀表。其中工程師15人、助理工程師8人、技工12人。公司在全國各大石油化工設(shè)計院的幫組及合作下，吸取國內(nèi)外技術(shù)，研制和開發(fā)了許多高質(zhì)量、高精度、高科技的新產(chǎn)品，并取得了豐碩的成果；公司順利通過了ISO9001：2008質(zhì)量體系認(rèn)證，且于2009年根據(jù)《商標(biāo)法》成功注冊了中文名為“文貝”（英文名：WENBEI）的產(chǎn)品商標(biāo)，成為行業(yè)的標(biāo)志性品牌。 公司主要生產(chǎn)光電液位計、智能浮筒液位變送器、智能浮球液位變送器、磁浮子（翻板）液位計、浮球液位開關(guān)、電極點(diǎn)液位開關(guān)、玻璃板（管）液位計、智能溫度開關(guān)、智能壓力開關(guān)、智能雙色電極點(diǎn)水位計、重錘料位計、超聲波物位變送器、智能渦街流量計、射頻導(dǎo)納物位變送器、（智能）溫度變送器、射頻導(dǎo)納物位開關(guān)、浮子液位開關(guān)、（智能）壓力變送器、（智能）差壓變送器等各種防爆電器60種，系列產(chǎn)品500多個規(guī)格，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在石油、化工、焦化、輕紡、冶金、食品等工業(yè)部門，贏得了良好的質(zhì)量信譽(yù)，并建立了穩(wěn)定的合作關(guān)系。 本公司將以的技術(shù)、的質(zhì)量、的產(chǎn)品、的服務(wù)滿足顧客的要求和期望。 我們愿結(jié)交各界有識之士，共同努力建設(shè)美好的未來。 |
西班牙Zigor AVC DVR動態(tài)電壓調(diào)節(jié)器
西班牙Zigor AVC DVR動態(tài)電壓調(diào)節(jié)器
M288-CTHM288-CTH壁掛（臺式）溫濕度計
1臺本體上有4條通路同時表示
利用電腦畫面，最大可表示15條通路
溫度、濕度及混合比，絕對濕度，露點(diǎn)均可表示
多端利用，磁盤方式通路
RS-232C輸出端子的標(biāo)準(zhǔn)裝備和本題部分可以互換
可與國家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行傳遞
KCHFF,KCAHFF,KCAHFF,補(bǔ)償電纜補(bǔ)償導(dǎo)線KCHFF,KCAHFF,KCAHFF合金絲材質(zhì)
安徽上華電纜有限公司座落于被譽(yù)為“電纜之鄉(xiāng)”的天長市，南接歷史文化名城南京，東連旅游勝地?fù)P州，地處蘇皖交界，靠205國道淮揚(yáng)路線，地理條件，在南京、揚(yáng)州，淮陰三市之間，交通便捷。王懷 聯(lián)系電話：1 3721012939
本公司是具有一定規(guī)模的中型工業(yè)企業(yè)，專門生產(chǎn)電線電纜，具有（控制電纜、電力電纜、硅橡膠電纜、高溫電纜、計算機(jī)電纜）的生產(chǎn)許可證和準(zhǔn)產(chǎn)證，先后通過ISO9001質(zhì)量管理和國家強(qiáng)制3C認(rèn)證。主要的產(chǎn)品有：熱電偶補(bǔ)償導(dǎo)線、屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線、高溫補(bǔ)償導(dǎo)線、阻燃控制電纜、屏蔽控制電纜、控制軟電纜、耐高溫電纜、耐油電纜、鍍銀屏蔽線、鍍錫屏蔽線、云母高溫線、純鎳耐溫線、變頻器專用電纜、船用電纜、汽車低壓電纜、計算機(jī)屏蔽電纜、本安電纜、DCS信號電纜、防爆電纜、防火電纜、硅橡膠電纜、橡套軟電纜、鎧裝電纜，品種齊全。并可根據(jù)用戶需要開發(fā)設(shè)計制造新品種，用于冶金、機(jī)械、化工、電力通訊設(shè)備及重大領(lǐng)域，通過使用倍受好評。 本公司有的歷史，雄厚的技術(shù)力量、齊全的檢測設(shè)備、豐富的制造經(jīng)驗，合理的價格，滿足有關(guān)工礦企業(yè)，科研等而下之單位的需要。目前隨著機(jī)械電子工業(yè)的調(diào)整發(fā)展，產(chǎn)品不斷更新，技術(shù)上精益求精。 我們的宗旨：以的產(chǎn)品質(zhì)量投放市場，質(zhì)量上要求科技領(lǐng)先、顧客至上、不斷創(chuàng)新、質(zhì)量永恒。
用途： 熱電偶用（耐高溫）補(bǔ)償導(dǎo)線、補(bǔ)償電纜，是在一定溫度范圍內(nèi)（包括高溫、常溫）具有與匹配的熱電動勢的標(biāo)稱值相同的一對帶有絕緣層的導(dǎo)線，用它們連接熱電偶與測量裝置，以補(bǔ)償它們與熱電偶連接處的溫度變化所產(chǎn)生的誤差。本產(chǎn)品適用于分度號為S、K、E、T、J、N型各種熱電偶與溫度顯示儀表之間的電氣連接，以提高測量精度。 2：使用條件： （1） 工作溫度：耐熱用：200℃和260℃兩種； 一般用：70℃和105℃兩種。 （2） 環(huán)境溫度：氟塑料絕緣和護(hù)套電纜：固定敷設(shè)-60℃，非固定敷設(shè)-20℃； 聚氯乙烯絕緣和護(hù)套電纜：固定敷設(shè)-40℃，非固定敷設(shè)-15℃。 （3） 最小彎曲半徑：聚氯乙烯絕緣和護(hù)套電纜非鎧裝電纜不小于電纜外徑的6倍，氟塑料絕緣和護(hù)套非鎧裝電纜不小于電纜外徑的10倍，鎧裝電纜不小于電纜外徑的12倍。 3、產(chǎn)品品種、規(guī)格、結(jié)構(gòu)型式 （1） 產(chǎn)品品種及型號：見表1 表1
產(chǎn)品名稱 型 號 配用熱電偶 熱電偶分度號 銅-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線（電纜） SC 鉑銠10-鉑熱電偶鉑銠13-鉑熱電偶 S 鐵-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線（電纜）銅-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線（電纜） KCAKCB 鎳鉻-鎳硅熱電偶 K 鎳鉻-鎳硅延長型導(dǎo)線（電纜） KX 鎳鉻-鎳硅熱電偶 K 鐵-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線（電纜）鎳鉻硅-鎳硅延長型導(dǎo)線（電纜） NCNX 鎳鉻硅-鎳硅熱電偶 N 鎳鉻-銅鎳延長型導(dǎo)線（電纜） EX 鎳鉻-銅鎳熱電偶 E 鐵-銅鎳延長型導(dǎo)線（電纜） JX 鐵-銅鎳熱電偶 J 銅-銅鎳延長型導(dǎo)線（電纜） TX 銅-康銅鎳電偶 T
（2） 產(chǎn)品規(guī)格：見表2表2 名 稱 導(dǎo)體標(biāo)稱截面mm2 導(dǎo)體結(jié)構(gòu) mm 補(bǔ)償導(dǎo)線 補(bǔ)償電纜 A B 線芯對數(shù) 1 二線組：1～24對三線組：1～19對 0.5 1/Φ0.80 7/Φ0.30 1.0 1/Φ1.13 7/Φ0.43 1.5 1/Φ1.37 7/Φ0.52 2.5 1/Φ1.76 19/Φ0.41
注：① 補(bǔ)償導(dǎo)線規(guī)格為：2*導(dǎo)體標(biāo)稱截面，補(bǔ)償電纜規(guī)格為：芯數(shù)*2*導(dǎo)體標(biāo)稱截面，推薦的線對 為：1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、12、14、16、19、24等。 ② 根據(jù)用戶的要求可提供阻燃型、耐火型、低煙低鹵型、低煙無鹵型補(bǔ)償電纜以及耐熱硅橡膠絕緣和護(hù)套補(bǔ)償電纜。訂貨時需注明即可。 4、技術(shù)要求 （1） 補(bǔ)償導(dǎo)線及補(bǔ)償電纜合金導(dǎo)體和絕緣層顏色：見表3 表3 產(chǎn)品型號 補(bǔ)償導(dǎo)線及電纜線芯 絕緣層著色 配用熱電偶分度號 正極 負(fù)極 正極 負(fù)極 SC 銅 銅鎳0.6 紅 綠 S（鉑銠10-鉑）R（鉑銠13-鉑） KCA 鐵 銅鎳22 紅 藍(lán) K（鎳鉻-鎳硅） KCB 銅 銅鎳40 紅 藍(lán) KX 鎳鉻10 鎳硅 紅 黑 EX 鎳鉻10 銅鎳45 紅 棕 E（鎳鉻-銅鎳） JX 鐵 銅鎳45 紅 紫 J（鐵-銅鎳） TX 銅 銅鎳45 紅 白 T（銅-銅鎳 NC 鐵 銅鎳18 紅 灰 N（鎳鉻硅-鎳硅） NX 鎳鉻硅 鎳硅 紅 灰 （2） 補(bǔ)償導(dǎo)線及補(bǔ)償電纜使用分類、等級標(biāo)志及護(hù)套著色：見表4 表4 使用分類 標(biāo)志代號 允差等級及標(biāo)志 護(hù)套著色 普通級 精密級 普通級 精密級 本安型 一般用 G 省 S 黑色 灰色 藍(lán)色 耐熱用 H 黑色 灰色 藍(lán)色 （3） 補(bǔ)償導(dǎo)線及補(bǔ)償電纜熱電特性及允差表：見表5 表5 型號 使用分類 溫度范圍℃ 熱電動勢允差μV 測量端溫度℃ 往復(fù)電阻20℃長度為1m不大于Ω 普通級 精密級 0.5mm2 1.0mm2 1.5mm2 2.5mm2 SC G 0～100 ±60（±5.0℃） ±30（±5.0℃） 1000 0.10 0.05 0.03 0.02 H 0～200 KCA G 0～100 ±100（±2.5℃） ±60（±1.5℃） 1000 1.40 0.70 0.47 0.28 H 0～200 900 KCB G 0～100 900 1.04 0.70 0.47 0.28 KX G -20～100 900 2.20 1.10 0.73 0.44 H -25～200 900 EX G -20～100 ±200（±2.5℃） ±120（±1.5℃） 500 2.50 1.25 0.83 0.50 H -25～200 500 JX G -20～100 ±140（±2.5℃） ±85（±1.5℃） 500 1.30 0.65 0.43 0.26 H -25～200 500 TX G -20～100 ±60（±1.0℃） ±30（±0.5℃） 300 1.04 0.52 0.35 0.21 H -25～200 ±90（±1.5℃） ±48（±0.8℃） 300 NC G 0～100 ±100（±2.5℃） ±60（±1.5℃） 900 1.50 0.75 0.50 0.30 H 0～200 900 NX G -20～100 900 2.86 1.43 0.95 0.57 H -25～200 900 （4） 其它性能指標(biāo)：見表6 表6 項 目 單 位 性能指標(biāo) PVC絕緣 F46絕緣或F絕緣 絕緣電阻（20℃）≥ MΩ·km 25 500 電壓試驗 V/1min 1000 阻燃性能 由供需雙方根據(jù)補(bǔ)償電纜的使用條件按GB/T18380-2001標(biāo)準(zhǔn)商定
5、型號、名稱：見表7～表8表7 補(bǔ)償導(dǎo)線 型 號 名 稱 KX-VV 聚氯乙烯絕緣和護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-VPV 聚氯乙烯絕緣和護(hù)套銅絲編織屏蔽K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FF 氟塑料絕緣和護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FPF 氟塑料絕緣和護(hù)套銅絲編織屏蔽K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FV-105 氟塑料絕緣耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FPV-105 氟塑料絕緣銅絲編織屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-HF4B 聚四氟絕緣玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-HF4PB 聚四氟絕緣銅絲編織屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 注： ① 其他型號補(bǔ)償導(dǎo)線SC、KC、EX、JX、TX、NC、NX等,只需改寫型號的項，如：EX-VVP； ② 屏蔽型式有：P：銅絲屏蔽，P1：鍍錫絲屏蔽； ③ 氟塑料絕緣和護(hù)套高溫補(bǔ)償導(dǎo)線用氟塑料整體連續(xù)擠出，具有很好的電性能和耐酸堿油水性能； ④ 一般用（G）普通級和精密級（S）以及耐熱用（H）普通級和精密級（S）補(bǔ)償導(dǎo)線在訂貨注明即可。 表8 補(bǔ)償電纜 型 號 名 稱 KX-VV 聚氯乙烯絕緣對絞聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-VPV 聚氯乙烯絕緣對絞銅絲編織分屏蔽聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-VPVP 聚氯乙烯絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-VVP 聚氯乙烯絕緣對絞銅絲編織總屏蔽聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FF 氟塑料絕緣對絞氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPF 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPFP 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FFP 氟塑料絕緣對絞銅絲編織總屏蔽氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FV-105 氟塑料絕緣對絞耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPV-105 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPVP-105 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FVP-105 氟塑料絕緣對絞銅絲編織總屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-HF4B 聚四氟絕緣對絞玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-HF4PB 聚四氟絕緣對絞銅絲編織分屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償電纜 KX-HF4PBP 聚四氟絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償電纜 KX-HF4BP 聚四氟絕緣對絞銅絲編織總屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償電纜 注： ① 其他型號補(bǔ)償電纜SC、KC、EX、JX、TX、NC、NX等,只需改寫型號的項，如：EX-VPV； ② 屏蔽型式有：P：銅絲屏蔽，P1：鍍錫絲屏蔽，P3：鋁/聚酯復(fù)合膜，P2：銅塑復(fù)合膜； ③ 氟塑料絕緣和護(hù)套高溫補(bǔ)償導(dǎo)線用氟塑料整體連續(xù)擠出，具有很好的電性能和耐酸堿油水性能。 ④ 一般用（G）普通級和精密級（S）以及耐熱用（G）普通級和精密級（S）補(bǔ)償電纜在訂貨注明即可。 ⑤ 本安補(bǔ)償電纜需在原型號前加“IA-”，如：IA-KX-VPVP；需阻燃補(bǔ)償電纜，應(yīng)在原型號前加“ZR-”。
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C200HW-BI051供應(yīng) OMRON歐姆龍 PLC可編程控制器 C200HW-BI051
******************************************************************************************供應(yīng)OMRON歐姆龍可編程控制器與模塊，華南代理商******************************************************************************************C200HW-BI051 C200HW-BI051 C200HW-BI051
產(chǎn)品介紹:·CQM1H是一種功能完善的緊湊型PLC，它能用高速、高容量ContrllerLink來建立分散控制系統(tǒng)。·它還可方便地通過從中央?yún)^(qū)域收集和共享作數(shù)據(jù)、監(jiān)控每臺機(jī)械的生產(chǎn)過程和質(zhì)量數(shù)據(jù)。·它能利用的內(nèi)裝板可靈活地配置系統(tǒng)。·包括高速計數(shù)器在內(nèi)，擁有各種的內(nèi)裝板。·在CPU單元中安裝所要求的內(nèi)裝板就可CQM1H-ABB21CQM1H-AVB41CQM1H-CIF12（Q）CQM1H-CLK21CQM1H-CPU11CQM1H-CPU21CQM1H-CPU51CQM1H-CPU61CQM1H-CTB41CQM1H-IC101CQM1H-II101CQM1H-MAB42CQM1H-ME16KCQM1H-ME16RCQM1H-PLB21CQM1H-PRO01-ECQM1H-SCB41CQM1H-TER01CQM1-IA121CQM1-IA221CQM1-ID111CQM1-ID111CQM1-ID112CQM1-ID112CQM1-ID211CQM1-ID211CQM1-ID212CQM1-ID212CQM1-ID213CQM1-ID214CQM1-ID214CQM1-IPS01CQM1-IPS02CQM1-LK501CQM1-ME04KCQM1-ME04RCQM1-ME08KCQM1-ME08RCQM1-MP08KCQM1-MP08RCQM1-OA221CQM1-OA222CQM1-OC221CQM1-OC222CQM1-OC222CQM1-OC224CQM1-OC224CQM1-OD211CQM1-OD211CQM1-OD212CQM1-OD213CQM1-OD213CQM1-OD214CQM1-OD214CQM1-OD215CQM1-OD216CQM1-PA203CQM1-PA203CQM1-PA206CQM1-PA216CQM1-PD026CQM1-PRO01-ECQM1-PRT21CQM1-SRM21-V1CQM1-TC001CQM1-TC002CQM1-TC101CQM1-TC102CQM1-TC201CQM1-TC202CQM1-TC203CQM1-TC204CQM1-TC301CQM1-TC302CQM1-TC303CQM1-TC304C2000-BI082C2000-BI083C2000-ID216C200H-AD001C200H-AD002C200H-AD003C200H-APS03C200H-ASC02C200H-ASC11C200H-ASC21C200H-ASC31C200H-ATT01C200H-ATT02C200H-ATT03C200H-ATT31C200H-ATT33C200H-ATT51C200H-ATT53C200H-ATT81C200H-ATT83C200H-ATTA1C200H-ATTA3C200H-B7A02C200H-B7A12C200H-B7A21C200H-B7A22C200H-B7AI1C200H-B7AO1C200H-BAT09C200H-BC031-V2C200H-BC051-V2C200H-BC081-V2C200H-BC101-V2C200H-BP001C200H-BP002C200H-CE001C200H-CE002C200H-CN001C200H-CN002C200H-CN111C200H-CN131C200H-CN211C200H-CN221C200H-CN222C200H-CN223C200H-CN225C200H-CN311C200H-CN422C200H-CN425C200H-CN521C200H-CN711C200H-COV02C200H-COV03C200H-COV11C200H-CP114C200H-CT001-V1C200H-CT002C200H-CT021C200H-DA001C200H-DA002C200H-DA003C200H-DA004C200H-DAC01C200H-DIN01C200H-DSC01C200HE-CPU11-EC200HE-CPU11-ZEC200HE-CPU32-EC200HE-CPU32-ZEC200HE-CPU42-EC200HE-CPU42-ZEC200H-ETL01-EC200H-FZ001C200HG-CPU33-EC200HG-CPU33-ZEC200HG-CPU43-EC200HG-CPU43-ZEC200HG-CPU53-EC200HG-CPU53-ZEC200HG-CPU63-EC200HG-CPU63-ZEC200H-IA121C200H-IA122C200H-IA221C200H-IA222C200H-ID001C200H-ID002C200H-ID111C200H-ID111C200H-ID211C200H-ID212C200H-ID212C200H-ID215C200H-ID215C200H-ID216C200H-ID216C200H-ID217C200H-ID217C200H-ID218C200H-ID218C200H-ID219C200H-ID219C200H-ID501C200H-ID501C200H-IDS01-V1C200H-IM211C200H-IM212C200H-IM212C200H-IP006C200H-IP007C200H-KS01EC200H-KS01FC200H-KS01GC200H-KS01IC200H-KS01SC200H-LK101-PV1C200H-LK201-V1C200H-LK202-V1C200H-LK401C200H-MAD01C200H-MC221C200H-MD115C200H-MD115C200H-MD215C200H-MD215C200H-MD501C200H-MD501C200H-ME431C200H-ME432C200H-ME831C200H-ME832C200H-MP831C200H-MR431C200H-MR432C200H-MR433C200H-MR831C200H-MR832C200H-MR833C200H-NC111C200H-NC112C200H-NC211C200H-OA122-EC200H-OA222VC200H-OA223C200H-OA224C200H-OC221C200H-OC222C200H-OC223C200H-OC224C200H-OC225C200H-OD211C200H-OD212C200H-OD212C200H-OD213C200H-OD214C200H-OD215C200H-OD215C200H-OD216C200H-OD217C200H-OD218C200H-OD218C200H-OD219C200H-OD219C200H-OD21AC200H-OD21AC200H-OD411C200H-OD501C200H-OD501C200H-PAR-EPTC210BC200H-PAR-MRK1031GC200H-PAR-PTC219C200H-PID01C200H-PID02C200H-PID03C200H-PRO27-EC200H-PS211C200H-PS221C200H-PS221-CC200H-RM001-PV1C200H-RM201C200H-RT001-PC200H-RT002-PC200H-RT201C200H-RT201-CC200H-RT202C200HS-CN222C200HS-CN422C200HS-INT01C200HS-ME16KC200HS-MP16KC200H-SP001C200H-TC001C200H-TC002C200H-TC003C200H-TC101C200H-TC102C200H-TC103C200H-TL001C200H-TM001C200H-TS001C200H-TS002C200H-TS101C200H-TS102C200H-TV001C200H-TV002C200H-TV003C200H-TV101C200H-TV102C200H-TV103C200HW-AB001C200HW-ASCST-CV2C200HW-ATT32C200HW-ATT33C200HW-ATT34C200HW-ATT52C200HW-ATT53C200HW-ATT54C200HW-ATT82C200HW-ATT83C200HW-ATT84C200HW-ATTA2C200HW-ATTA3C200HW-ATTA4C200HW-BC031C200HW-BC031C200HW-BC051C200HW-BC051C200HW-BC081-V1C200HW-BC081-V1C200HW-BC101-V1C200HW-BC101-V1C200HW-BI031C200HW-BI031C200HW-BI051C200HW-BI051C200HW-BI081-V1C200HW-BI081-V1C200HW-BI101-V1C200HW-BI101-V1C200HW-CE001C200HW-CE002C200HW-CE011C200HW-CE012C200HW-CLK21C200HW-COM01C200HW-COM02-V1C200HW-COM03-V1C200HW-COM04-EV1C200HW-COM05-EV1C200HW-COM06-EV1C200HW-DRM21-V1C200HW-DRT21C200HW-MC402-EC200HW-MC402-EC200HW-ME04KC200HW-ME08KC200HW-ME16KC200HW-ME32KC200HW-ME64KC200HW-NC113C200HW-NC213C200HW-NC213-LDC200HW-NC413C200HW-PA204C200HW-PA204CC200HW-PA204RC200HW-PA204SC200HW-PA209RC200HW-PCU01C200HW-PD024C200HW-PD025C200HW-PRM21C200HW-PRT21C200HW-SLK13C200HW-SLK14C200HW-SLK23C200HW-SLK24C200HW-SRM21-V1C200HW-ZW3AT2-EV2C200HX/C200HG/C200HE 編程手冊C200HX-CPU34-EC200HX-CPU34-ZEC200HX-CPU44-EC200HX-CPU44-ZEC200HX-CPU54-EC200HX-CPU54-ZEC200HX-CPU64-EC200HX-CPU64-ZEC200HX-CPU65-ZEC200HX-CPU85-ZEC200PC-CN221C200PC-EXP01C200PC-ISA03-DRM-EC200PC-ISA03-EC200PC-ISA03-SRM-EC200PC-ISA13-DRM-EC200PC-ISA13-SRM-EC200PC-PD024C500-AD001C500-AD002C500-AD003C500-AD004C500-AD005C500-AD006C500-AD007C500-AD101C500-AD501C500-AE001C500-AP003C500-ASC04C500-ATT01C500-ATT05C500-BAT08C500-BAT10C500-BI051C500-BI081C500-BL031C500-BP001C500-CCG01C500-CE241C500-CE242C500-CE243C500-CE401C500-CE402C500-CE403C500-CE404C500-CE405C500-CN122NC500-CN124C500-CN221C500-CN222NC500-CN312NC500-CN422C500-CN512NC500-CN523C500-CN812NC500-COV01C500-COV02C500-COV03C500-COV11C500-COV12C500-COV13C500-CT001C500-CT012C500-CT021C500-CT041C500-DA001C500-DA002C500-DA003C500-DA004C500-DA005C500-DA101C500-DA103C500-DA501C500-DUM01C500-ETL01C500-FZ001C500-IA121C500-IA122C500-IA222C500-IA223C500-ID112C500-ID114C500-ID212C500-ID213C500-ID215C500-ID218C500-ID218CNC500-ID219C500-ID501CNC500-IDA02C500-IDS01-V2C500-IDS02-V1C500-II002C500-II101C500-IM211C500-IM212C500-LDP01-V1C500-LK009-V1C500-MCD01C500-MD211CNC500-NC111-V1C500-NC112C500-NC113C500-NC211C500-NC222-EC500-OA225C500-OA226C500-OC221C500-OC223C500-OC224C500-OC224-EC500-OD211C500-OD212C500-OD213C500-OD215C500-OD217C500-OD218C500-OD219C500-OD411C500-OD412C500-OD414C500-OD415CNC500-OD501CNC500-PAR-PTC38C500-PRW06C500-PS213-EC500-RM201C500-RT201C500-SP001C500-SP002C500-SU981-EC500-ZL3AT1-CC500-ZL3AT1-EC500-ZL3DV1C500-ZL3PC1
CJ12系列交流接觸器
Z多回轉(zhuǎn)電動裝置，ZB發(fā)揮著電動裝置，ZC多回轉(zhuǎn)電動裝置廠家
多回轉(zhuǎn)閥門電動裝置，簡稱為Z型電裝，是閥門實(shí)現(xiàn)開啟、關(guān)閉或調(diào)節(jié)控制的驅(qū)動設(shè)備。Z型電裝適用于閘閥、截止閥、隔膜閥、柱塞閥、節(jié)流閥、水閘門等？捎糜诿鳁U閥，也可用于暗桿閥。
本系列電裝具有功能全、性能可靠、控制系統(tǒng)先進(jìn)、體積小、重量輕、使用維護(hù)方便等特點(diǎn)。可對閥門實(shí)行遠(yuǎn)控、集控和自動控制。廣泛用于電力、冶金、石油、化工、造紙、污水處理等行業(yè)。
本產(chǎn)品的性能符合JB/T8528-1997《普通型閥門電動裝置技術(shù)條件》的規(guī)定。隔爆型的性能符合GB3836.1-2000《爆炸性氣體環(huán)境用電氣設(shè)備第1部分：通用要求》，GB3836.2-2000《爆炸性氣體環(huán)境用電氣設(shè)備第2部分：隔爆型“d”》及JB/T8529-1997《隔爆型閥門電動裝置技術(shù)條件》的規(guī)定。 多回轉(zhuǎn)電動裝置按防護(hù)類型分：有戶外型和隔爆型；
按控制方式分：有常規(guī)型、整體型和整體調(diào)節(jié)型；按連接型式分：有轉(zhuǎn)矩型、電站型和推力型； 二、 多回轉(zhuǎn)閥門電動裝置型號表示方法：
防護(hù)/爆等級：W戶外型；B隔爆型；Z整體型；T整體調(diào)節(jié)型。
輸出軸最大轉(zhuǎn)圈數(shù)：阿拉伯?dāng)?shù)字表示，無數(shù)字見表1
輸出轉(zhuǎn)速：阿拉伯?dāng)?shù)字表示，單位r/min（轉(zhuǎn)/分）
連接型式：T表示推力型，I表示電站型，無代號為常規(guī)轉(zhuǎn)矩型
額定輸出轉(zhuǎn)矩：阿拉伯?dāng)?shù)字表示，單位kgf.m
產(chǎn)品型式：多回轉(zhuǎn)電動裝置 型號示例： 1.Z30I-18W：多回轉(zhuǎn)電動裝置，輸出轉(zhuǎn)矩300N.m（30kgf.m），電站型接口，輸出轉(zhuǎn)速18r/min，最大轉(zhuǎn)圈數(shù)60，常規(guī)戶外型。 2.Z45T-24B：多回轉(zhuǎn)電動裝置，輸出轉(zhuǎn)矩450N.m（45kgf.m），推力型接口，輸出轉(zhuǎn)速24 r/min，最大轉(zhuǎn)圈數(shù)120，隔爆型。 3.Z120-24W/240T：多回轉(zhuǎn)電動裝置，輸出轉(zhuǎn)矩1200N?m (120kgf.m)，轉(zhuǎn)矩型接口，輸出轉(zhuǎn)速24 r/min，最大轉(zhuǎn)圈數(shù)240圈，整體調(diào)節(jié)型。
三、 多回轉(zhuǎn)電動裝置的主要工作環(huán)境和主要技術(shù)參數(shù)：
3.1 電源：常規(guī)，三相380V（50Hz） 特殊，三相660V、415V（50Hz 、60Hz）； 單相220V、110V（50Hz 、60Hz） 3.2 工作環(huán)境： 3.2.1 環(huán)境溫度：-20~+60℃ （特殊訂貨-40~+80℃）。 3.2.2 相對濕度：≤95%（25℃時）。 3.2.3防護(hù)類型：戶外型用于無易燃、易爆和無腐蝕性介質(zhì)的場所。隔爆型產(chǎn)品有dⅠ和dⅡBT4兩種，dⅠ適用于煤礦非采掘工作面；dⅡBT4用于工廠，適用于環(huán)境為ⅡA、ⅡB級T1~T4組的爆炸性氣體混合物
四、多回轉(zhuǎn)電動閥門裝置的主要結(jié)構(gòu)：
Z型電動裝置由電動機(jī)、減速機(jī)構(gòu)、力矩控制機(jī)構(gòu)、行程控制機(jī)構(gòu)、開度指示機(jī)構(gòu)、手－電動切換機(jī)構(gòu)、手輪及電氣部分組成。其傳動原理如圖所示。
注意：隔爆型電氣部分加了隔爆面結(jié)構(gòu)，并采用隔爆型接線盒和YDF隔爆型閥門用電動機(jī)。安裝、調(diào)試和維護(hù)時，不可損傷隔爆面；不得在爆炸環(huán)境下拆去與電氣有關(guān)的箱蓋帶電操作，打開電氣箱蓋前必須先切斷電源；重裝時蓋嚴(yán)緊固以保證隔爆性能！
| 型號規(guī)格 | 公稱轉(zhuǎn)矩（N，m) | 公稱推力（KN） | 最大閥桿直徑（mm) | 最大轉(zhuǎn)圈數(shù)（圈） | 手動速比 | 輸出轉(zhuǎn)速（r/min) | 電機(jī)功率（KW） | 參考重量（Kg) |
| Z5 | 50 | 20 | 28 | 60 | 1::1 | 12 | 0.12 | 28 |
| Z10 | 100 | 40 | 28 | 60 | 1::1 | 18\24\36 | 0.25\0.37 | 45 |
| Z15 | 150 | 18\24\36 | 0.37\0.55 | 50 | ||||
| Z20 | 200 | 100 | 40 | 60 | 1::1 | 18\24 | 0.37\0.55 | 55 |
| Z30 | 300 | 18\24 | 0.55\0.75 | 58 | ||||
| Z45 | 450 | 150 | 48 | 120 | 1::1(20::1) | 24\36 | 1.1\1.5 | 110 |
| Z60 | 600 | 24\36 | 1.5\2.2 | 120 | ||||
| Z90 | 900 | 200 | 60 | 120 | 1::1(25::1) | 24\36 | 2.2\3 | 139 |
| Z120 | 1200 | 24\36 | 3\4 | 142 | ||||
| Z180 | 1800 | 325 | 70 | 150 | 22.5::1 | 18\24 | 4\5.5 | 250 |
| Z250 | 2500 | 18\24 | 5.5\7.5 | 255 | ||||
| Z350 | 3500 | 700 |
| 150 | 20::1 | 18\24 | 7.5\10 | 330 |
| Z500 | 5000 | 80 | 18\24 | 10\15 | 350 |
注1：可按用戶要求提供其它轉(zhuǎn)速：12、18、24、30、36、42、48、60（r/min) 注2：當(dāng)產(chǎn)品提供四層計數(shù)器時，最大轉(zhuǎn)圈數(shù)為表1圈數(shù)*10 電機(jī)技術(shù)參數(shù)見表2
| 功率KW | 0.12 | 0.25 | 0.37 | 0.55 | 0.75 | 1.1 | 1.5 | 2.2 | 3 | 4 | 5.5 | 7.5 | 10 | 15 |
| 電流A | 0.57 | 1.03 | 1.38 | 2.2 | 2.62 | 4 | 4.12 | 5.25 | 7.9 | 8.87 | 12.05 | 15.6 | 20.5 | 26.6 |
外形尺寸見圖1和表3 表3
| 型號 | H | H1 | L1 | L2 | L3 | F | F1 | F2 | F3 | F4 | фD |
| Z5 | 271 | 96 | 158 | 226 | 249 | 158 | 259 |
| 310 |
| 316 |
| Z10-Z30 | 316 | 130 | 200 | 238 | 295 | 200 | 255 | 317 | 349 | 374 | 400 |
| Z45-Z60 | 415 | 195 | 277 | 277 | 394 | 230 | 275 | 391 | 369 | 394 | 460 |
| Z90-Z120 | 453 | 195 | 281 | 281 | 412 | 278 | 310 | 426 | 404 | 429 | 556 |
| Z180-Z250 | 585 | 250 | 320 | 320 | 474 | 295 | 360 | 476 | 455 | 476 | 320 |
| Z350-Z500 | 717 | 280 | 399 | 399 | 1076 | 433 | 417 | 442 | 417 | 542 | 565 |
注1：L1為戶外型/隔爆型 L2為整體型/整體隔爆型
注2：F1為戶外型 F2為隔爆型 F3為整體型
F4為整體隔爆型/整體調(diào)節(jié)隔爆型
產(chǎn)品訂貨須知：
1.執(zhí)行器、閥門電動裝置產(chǎn)品名稱與型號。
2.執(zhí)行器、閥門電動裝置配套的閥門介質(zhì)、溫度、壓力、口徑。
3.其它是否帶附件以便我們的為您正確選型。
4.若已經(jīng)由設(shè)計單位選定【揚(yáng)州恒川】產(chǎn)品型號，請按型號直接向我司銷售部訂購。
5.當(dāng)使用的場合非常重要或環(huán)境比較復(fù)雜時,請您盡量提供設(shè)計圖紙和詳細(xì)參數(shù)，由我們的恒川閥門執(zhí)行器專家為您審核把關(guān)。
6.感謝您訪問我們的網(wǎng)站【http://www.cnhc-v.com】如有任何疑問.您可以致電給我們,恒川一定會盡心盡力為您提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及滿意服務(wù)全球熱線：0514-8763 9999BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 （PEVCD）
用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 （PEVCD）的等離子處理系統(tǒng)。
BM8-II是一款定義反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 （PEVCD）等離子處理新概念的等離子處理系統(tǒng)。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基于模塊化設(shè)計制造，采用一款通用的真空處理艙及機(jī)柜。等離子處理系統(tǒng)采用平板式電極、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）電極及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 （PEVCD）電極模塊化設(shè)計理念，方便整體系統(tǒng)的組裝及配置。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)帶給用戶方便操作，提供多種等離子處理工藝、方便維護(hù)及性價比高的反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積等離子處理系統(tǒng)，比業(yè)內(nèi)其它反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)更具競爭力。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-主要性能簡介
等離子工藝處理的研發(fā)需要多功能且可靠的等離子處理系統(tǒng)。為了滿足等離子研究日新月異的要求，用戶選購的系統(tǒng)設(shè)備滿足最大范圍的等離子工藝參數(shù)需要，工藝驗證需要極其高的可重復(fù)性，必須方便改造用于新的等離子工藝需要。我們相信BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)系列干法工藝等離子系統(tǒng)滿足這些非常苛刻的要求。. BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)是一款用于研究，工藝開發(fā)及其小批量生產(chǎn)的等離子系統(tǒng)工具，用于最大八英寸基片的精確等離子刻蝕及沉積。BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)可以在多片或單片處理模式下操作。
在設(shè)計BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)之初，主導(dǎo)指示就是創(chuàng)造一款融合高質(zhì)量、可靠、重復(fù)性及其用于生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝控制能力為一體的等離子系統(tǒng)；同時極大的降低主機(jī)成本、維護(hù)成本及占地面積小等要求。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)具有獨(dú)特的機(jī)體結(jié)構(gòu)和電極設(shè)計，方便安裝在層流模塊中或是超凈間。BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的建造采用高質(zhì)量認(rèn)可的部件、模塊化裝配、多功能真空艙體及其電極設(shè)計、結(jié)構(gòu)緊湊、自動化及業(yè)內(nèi)認(rèn)可工藝程序使得BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)成為工藝工程師首選干法等離子處理設(shè)備。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-主要性能介紹
· 一體式真空艙體構(gòu)造
· 原位電極間距設(shè)計（PEVCD版）
· 可更換工藝氣體噴頭
· 業(yè)內(nèi)認(rèn)可的工藝程序
· 高質(zhì)量業(yè)內(nèi)認(rèn)可的主要部件
· 終點(diǎn)探測監(jiān)測（Endpoint detection選配）
· 多種電極配置
· 自動射頻（RF）匹配器
· 下游壓力控制（Downstream pressure control選配）
· 電腦控制，基于Windows編程
· 多款真空泵浦選配：機(jī)械泵、機(jī)械泵/風(fēng)機(jī)，渦輪增壓泵浦
· 單真空艙及雙真空艙結(jié)構(gòu)
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-應(yīng)用
基于系統(tǒng)建造的高質(zhì)量處理模塊，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)滿足廣泛的等離子處理工藝條件，無論是復(fù)雜的亞微米級反應(yīng)離子刻蝕 （RIE）還是高質(zhì)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PEVCD）薄膜的沉積。以下是我們，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的典型工藝處理應(yīng)用，基與眾多客戶群的緊密協(xié)作，我們開發(fā)出業(yè)內(nèi)認(rèn)可的工藝程序，保證系統(tǒng)滿足用戶所需。用于生產(chǎn)制造的系統(tǒng)設(shè)備均采用最高質(zhì)量的部件，保證，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)提供最大可能的正常運(yùn)行時間、 可靠性、重復(fù)性及耐用性。
· 故障分析應(yīng)用（Failure analysis）
· 材料改性（Material modification）
· 粘合促進(jìn)等離子descum
· 表面處理（Surface treatment）
· 各向異性各項同性及刻蝕（Anisotropic ａnd isotropic etching）
· 金屬刻蝕（Metal etching）
· Si02（二氧化硅）, Si3N4 （氧化硅）及 SiOxNy（氮氧化矽）薄膜沉積
· II-V 刻蝕應(yīng)用（III-V etching）
· 溝槽刻蝕（Trench etching）
· 鈍化層刻蝕（Passivation etching）
· 聚酰亞胺刻蝕（Polyimide etching ）
· 亞納米級刻蝕（Submicron etching）
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)規(guī)格
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的廣泛使用得益于其高性價比，多功能設(shè)計模塊，提供其他同類反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)沒有的工藝優(yōu)勢。這些包括層流安裝占地面積小，多款電極配置，及其最大可滿足直徑8英寸（203毫米）基片處理等。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基本模塊
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基本部件包括一款基于Windows的PC控制器及其菜單存儲、質(zhì)量流量控制的兩路通道控制（最大可擴(kuò)展至六通道）、溫度補(bǔ)償式電容壓力計用于測量工藝真空度、100毫米真空通道用于最大工藝氣體電導(dǎo)、KF或ISO標(biāo)準(zhǔn)管件便于維護(hù)；及其它工藝及服務(wù)特性。工藝氣體導(dǎo)管未不銹鋼操作，配備VCE連接件。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-真空處理艙
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的真空處理艙采用整塊鋁合金建造成一體式設(shè)計。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PEVCD）及平板電極系統(tǒng)均采用同樣的真空處理艙設(shè)計。真空處理艙上部包括一個電極，并且具有原位電極可調(diào)間距；真空艙下部包括基片電極，真空泵浦接口及氣體必要的真空閥及其真空監(jiān)控設(shè)備。自動升降臺抬舉真空艙上部便于接近底部電極。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-電極配置
反應(yīng)離子刻蝕（RIE）系列電極特別為達(dá)到低真空范圍的最佳等離子性能設(shè)計。上部的不銹鋼電極包括噴頭式工藝氣體供應(yīng)系統(tǒng)。不銹鋼材質(zhì)底部電極通過可選配冷卻循環(huán)槽來控制溫度。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）陽極采用暗區(qū)屏障設(shè)計，使等離子在兩塊電極之間產(chǎn)生。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（（PECVD ）電極采用類似的設(shè)計，但是鋁制底部基片電極最大可耐400℃高溫，而上部電極（通電電極）是采用水冷卻。鋁制電極具有氣體感應(yīng)端口，便于沉積工藝后的快速冷卻。對于（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD ）應(yīng)用，上部電極的間距可以在25.40至89毫米之間調(diào)節(jié)。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-等離子電源
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的電源可匹配廣泛的功率及其等離子電源頻率。所有的電源采用固態(tài)、風(fēng)冷式。電源功率從300至1250瓦特均有，射頻頻率從40KHz（中頻）至2.45GHz（微波）；系統(tǒng)標(biāo)配為13.56MHz，600瓦特射頻電源？蛇x配自動或手動匹配器。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-工藝處理真空泵浦
根據(jù)用戶的工藝需要，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)配備機(jī)械泵、機(jī)械泵及渦輪分子泵，或是帶魯氏鼓風(fēng)機(jī)的機(jī)械泵。也可根據(jù)所需真空處理級別配備不同尺寸大小的真空泵浦。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-控制器
控制器采用電腦控制整個系統(tǒng)。基于Windows的控制軟件采用多屏幕顯示系統(tǒng)設(shè)備控制、數(shù)據(jù)記錄、稱呼設(shè)定及存儲，系統(tǒng)連鎖應(yīng)需配備。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-選配
為了增強(qiáng)BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的工藝處理能力，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)提供廣泛的工藝處理選項，包括終點(diǎn)檢測、水冷器（用于冷卻電極）、油霧分離器及吹掃系統(tǒng)、下周壓力控制、硬質(zhì)陽極氧化真空艙。工藝廢氣處理系統(tǒng)也可提供。應(yīng)離子刻蝕（RIE）/等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PEVCD）任意結(jié)合的雙真空處理艙可以配置。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PEVCD）組合配置具有明顯的多功能性，其優(yōu)勢在于避免不同沉積工藝的交叉污染。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)尺寸
| 單真空處理艙 | Dual雙真空處理艙 | |
| 寬: | 91厘米 | 104厘米 |
| 深: | 81厘米 | 114厘米 |
| 機(jī)柜高度: | 91厘米 | 91厘米 |
| 整機(jī)高度: | 129厘米 | 129厘米 |
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)重量
70~120公斤. （取決于具體系統(tǒng)配置）.
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)安裝條件
| 等離子系統(tǒng)主機(jī): | |
| 220VAC/1/50Hz, 7A | |
| 真空泵浦系統(tǒng): | |
| 220VAC/1/50Hz, 5A | |
| 電極冷卻水源: | 20℃ ±2℃ |
| 真空閥驅(qū)動氣源: | 0.88MPa |
| 氮?dú)?/span>: | 0.1~0.14MPa （用于真空處理艙吹掃）） |
| 氣源: | 等離子處理工藝氣體, VCR 管件 |
如果您對GIK反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)感興趣，請聯(lián)系我們索取更詳盡資料！極科有限公司（材料科學(xué)部）
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