LCR測試儀 Agilent 4287A
8P-SAN昆山首言貿(mào)易供應 8P-SAN JST連接端子
  | This multi-circuit board-in connector meets the needs for high-density mounting on PC boards efficiently ａnd economically. | ||||||||
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| Specification | |||||||||
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Further Information禾苗 深圳供應E8-PMA能量色散型X射線熒光光譜儀/鍍層測厚儀/rohs檢測
34401A特價現(xiàn)貨安捷倫34401A數(shù)字萬用表
Agilent 34401A
是全球最暢銷的臺式數(shù)字萬用表（DMM）。這款工業(yè)標準的萬用表具有的性能，適用于系統(tǒng)和臺式測試。
技術(shù)指標：
測量能力
· 0.0035%基本直流精度
· 0.06%基本交流精度
· 0.1%基本電阻精度
系統(tǒng)能力
· 1000讀數(shù)/秒在GPIB總線上以ASCII格式傳輸
· 配置速率：26/秒至50/秒
· 自動量程速率（DCV）：>30/秒
小型數(shù)顯真空干燥箱DZF-6030A
用途特點： 本產(chǎn)品適用于教學、科研、醫(yī)藥、化工、食品及環(huán)保等領(lǐng)域，對各種少量樣品進行真空干燥處理。本產(chǎn)品150型加熱元件環(huán)繞筒形工作室布置，使工作室內(nèi)各部分均勻受熱，溫度控制采用單控溫方式，通過工作室內(nèi)溫度值產(chǎn)生的電信號，控制加熱元件的工作電壓，使溫升速率按既定比例逐步達到設(shè)定溫度，并恒定在設(shè)定溫度點附近。溫度誤差在常壓和真空狀態(tài)下均小于±2℃。 采用數(shù)字顯示屏顯示工作室溫度或設(shè)定溫度值，靈敏易讀。工作室設(shè)置耐壓耐熱玻璃可視窗，可隨時觀察樣品干燥情況。整機體積小、重量輕、省電節(jié)能、熱效率高、操作靈活方便等。
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回收安捷倫E4412A收購Agilent E4412A功率傳感器
回收安捷倫E4412A收購Agilent E4412A功率傳感器-郭生13538692726
KCHFF,KCAHFF,KCAHFF,補償電纜補償導線KCHFF,KCAHFF,KCAHFF合金絲材質(zhì)
安徽上華電纜有限公司座落于被譽為“電纜之鄉(xiāng)”的天長市，南接歷史文化名城南京，東連旅游勝地揚州，地處蘇皖交界，靠205國道淮揚路線，地理條件，在南京、揚州，淮陰三市之間，交通便捷。王懷 聯(lián)系電話：1 3721012939
本公司是具有一定規(guī)模的中型工業(yè)企業(yè)，專門生產(chǎn)電線電纜，具有（控制電纜、電力電纜、硅橡膠電纜、高溫電纜、計算機電纜）的生產(chǎn)許可證和準產(chǎn)證，先后通過ISO9001質(zhì)量管理和國家強制3C認證。主要的產(chǎn)品有：熱電偶補償導線、屏蔽補償導線、高溫補償導線、阻燃控制電纜、屏蔽控制電纜、控制軟電纜、耐高溫電纜、耐油電纜、鍍銀屏蔽線、鍍錫屏蔽線、云母高溫線、純鎳耐溫線、變頻器專用電纜、船用電纜、汽車低壓電纜、計算機屏蔽電纜、本安電纜、DCS信號電纜、防爆電纜、防火電纜、硅橡膠電纜、橡套軟電纜、鎧裝電纜，品種齊全。并可根據(jù)用戶需要開發(fā)設(shè)計制造新品種，用于冶金、機械、化工、電力通訊設(shè)備及重大領(lǐng)域，通過使用倍受好評。 本公司有的歷史，雄厚的技術(shù)力量、齊全的檢測設(shè)備、豐富的制造經(jīng)驗，合理的價格，滿足有關(guān)工礦企業(yè)，科研等而下之單位的需要。目前隨著機械電子工業(yè)的調(diào)整發(fā)展，產(chǎn)品不斷更新，技術(shù)上精益求精。 我們的宗旨：以的產(chǎn)品質(zhì)量投放市場，質(zhì)量上要求科技領(lǐng)先、顧客至上、不斷創(chuàng)新、質(zhì)量永恒。
用途： 熱電偶用（耐高溫）補償導線、補償電纜，是在一定溫度范圍內(nèi)（包括高溫、常溫）具有與匹配的熱電動勢的標稱值相同的一對帶有絕緣層的導線，用它們連接熱電偶與測量裝置，以補償它們與熱電偶連接處的溫度變化所產(chǎn)生的誤差。本產(chǎn)品適用于分度號為S、K、E、T、J、N型各種熱電偶與溫度顯示儀表之間的電氣連接，以提高測量精度。 2：使用條件： （1） 工作溫度：耐熱用：200℃和260℃兩種； 一般用：70℃和105℃兩種。 （2） 環(huán)境溫度：氟塑料絕緣和護套電纜：固定敷設(shè)-60℃，非固定敷設(shè)-20℃； 聚氯乙烯絕緣和護套電纜：固定敷設(shè)-40℃，非固定敷設(shè)-15℃。 （3） 最小彎曲半徑：聚氯乙烯絕緣和護套電纜非鎧裝電纜不小于電纜外徑的6倍，氟塑料絕緣和護套非鎧裝電纜不小于電纜外徑的10倍，鎧裝電纜不小于電纜外徑的12倍。 3、產(chǎn)品品種、規(guī)格、結(jié)構(gòu)型式 （1） 產(chǎn)品品種及型號：見表1 表1
產(chǎn)品名稱 型 號 配用熱電偶 熱電偶分度號 銅-銅鎳補償型導線（電纜） SC 鉑銠10-鉑熱電偶鉑銠13-鉑熱電偶 S 鐵-銅鎳補償型導線（電纜）銅-銅鎳補償型導線（電纜） KCAKCB 鎳鉻-鎳硅熱電偶 K 鎳鉻-鎳硅延長型導線（電纜） KX 鎳鉻-鎳硅熱電偶 K 鐵-銅鎳補償型導線（電纜）鎳鉻硅-鎳硅延長型導線（電纜） NCNX 鎳鉻硅-鎳硅熱電偶 N 鎳鉻-銅鎳延長型導線（電纜） EX 鎳鉻-銅鎳熱電偶 E 鐵-銅鎳延長型導線（電纜） JX 鐵-銅鎳熱電偶 J 銅-銅鎳延長型導線（電纜） TX 銅-康銅鎳電偶 T
（2） 產(chǎn)品規(guī)格：見表2表2 名 稱 導體標稱截面mm2 導體結(jié)構(gòu) mm 補償導線 補償電纜 A B 線芯對數(shù) 1 二線組：1～24對三線組：1～19對 0.5 1/Φ0.80 7/Φ0.30 1.0 1/Φ1.13 7/Φ0.43 1.5 1/Φ1.37 7/Φ0.52 2.5 1/Φ1.76 19/Φ0.41
注：① 補償導線規(guī)格為：2*導體標稱截面，補償電纜規(guī)格為：芯數(shù)*2*導體標稱截面，推薦的線對 為：1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、12、14、16、19、24等。 ② 根據(jù)用戶的要求可提供阻燃型、耐火型、低煙低鹵型、低煙無鹵型補償電纜以及耐熱硅橡膠絕緣和護套補償電纜。訂貨時需注明即可。 4、技術(shù)要求 （1） 補償導線及補償電纜合金導體和絕緣層顏色：見表3 表3 產(chǎn)品型號 補償導線及電纜線芯 絕緣層著色 配用熱電偶分度號 正極 負極 正極 負極 SC 銅 銅鎳0.6 紅 綠 S（鉑銠10-鉑）R（鉑銠13-鉑） KCA 鐵 銅鎳22 紅 藍 K（鎳鉻-鎳硅） KCB 銅 銅鎳40 紅 藍 KX 鎳鉻10 鎳硅 紅 黑 EX 鎳鉻10 銅鎳45 紅 棕 E（鎳鉻-銅鎳） JX 鐵 銅鎳45 紅 紫 J（鐵-銅鎳） TX 銅 銅鎳45 紅 白 T（銅-銅鎳 NC 鐵 銅鎳18 紅 灰 N（鎳鉻硅-鎳硅） NX 鎳鉻硅 鎳硅 紅 灰 （2） 補償導線及補償電纜使用分類、等級標志及護套著色：見表4 表4 使用分類 標志代號 允差等級及標志 護套著色 普通級 精密級 普通級 精密級 本安型 一般用 G 省 S 黑色 灰色 藍色 耐熱用 H 黑色 灰色 藍色 （3） 補償導線及補償電纜熱電特性及允差表：見表5 表5 型號 使用分類 溫度范圍℃ 熱電動勢允差μV 測量端溫度℃ 往復電阻20℃長度為1m不大于Ω 普通級 精密級 0.5mm2 1.0mm2 1.5mm2 2.5mm2 SC G 0～100 ±60（±5.0℃） ±30（±5.0℃） 1000 0.10 0.05 0.03 0.02 H 0～200 KCA G 0～100 ±100（±2.5℃） ±60（±1.5℃） 1000 1.40 0.70 0.47 0.28 H 0～200 900 KCB G 0～100 900 1.04 0.70 0.47 0.28 KX G -20～100 900 2.20 1.10 0.73 0.44 H -25～200 900 EX G -20～100 ±200（±2.5℃） ±120（±1.5℃） 500 2.50 1.25 0.83 0.50 H -25～200 500 JX G -20～100 ±140（±2.5℃） ±85（±1.5℃） 500 1.30 0.65 0.43 0.26 H -25～200 500 TX G -20～100 ±60（±1.0℃） ±30（±0.5℃） 300 1.04 0.52 0.35 0.21 H -25～200 ±90（±1.5℃） ±48（±0.8℃） 300 NC G 0～100 ±100（±2.5℃） ±60（±1.5℃） 900 1.50 0.75 0.50 0.30 H 0～200 900 NX G -20～100 900 2.86 1.43 0.95 0.57 H -25～200 900 （4） 其它性能指標：見表6 表6 項 目 單 位 性能指標 PVC絕緣 F46絕緣或F絕緣 絕緣電阻（20℃）≥ MΩ·km 25 500 電壓試驗 V/1min 1000 阻燃性能 由供需雙方根據(jù)補償電纜的使用條件按GB/T18380-2001標準商定
5、型號、名稱：見表7～表8表7 補償導線 型 號 名 稱 KX-VV 聚氯乙烯絕緣和護套K分度熱電偶用補償導線 KX-VPV 聚氯乙烯絕緣和護套銅絲編織屏蔽K分度熱電偶用屏蔽補償導線 KX-FF 氟塑料絕緣和護套K分度熱電偶用補償導線 KX-FPF 氟塑料絕緣和護套銅絲編織屏蔽K分度熱電偶用屏蔽補償導線 KX-FV-105 氟塑料絕緣耐熱105℃聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償導線 KX-FPV-105 氟塑料絕緣銅絲編織屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護套K分度熱電偶用屏蔽補償導線 KX-HF4B 聚四氟絕緣玻璃絲編織護套K分度熱電偶用補償導線 KX-HF4PB 聚四氟絕緣銅絲編織屏蔽玻璃絲編織護套K分度熱電偶用屏蔽補償導線 注： ① 其他型號補償導線SC、KC、EX、JX、TX、NC、NX等,只需改寫型號的項，如：EX-VVP； ② 屏蔽型式有：P：銅絲屏蔽，P1：鍍錫絲屏蔽； ③ 氟塑料絕緣和護套高溫補償導線用氟塑料整體連續(xù)擠出，具有很好的電性能和耐酸堿油水性能； ④ 一般用（G）普通級和精密級（S）以及耐熱用（H）普通級和精密級（S）補償導線在訂貨注明即可。 表8 補償電纜 型 號 名 稱 KX-VV 聚氯乙烯絕緣對絞聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-VPV 聚氯乙烯絕緣對絞銅絲編織分屏蔽聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-VPVP 聚氯乙烯絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-VVP 聚氯乙烯絕緣對絞銅絲編織總屏蔽聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FF 氟塑料絕緣對絞氟塑料護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FPF 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽氟塑料護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FPFP 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽氟塑料護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FFP 氟塑料絕緣對絞銅絲編織總屏蔽氟塑料護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FV-105 氟塑料絕緣對絞耐熱105℃聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FPV-105 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FPVP-105 氟塑料絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-FVP-105 氟塑料絕緣對絞銅絲編織總屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-HF4B 聚四氟絕緣對絞玻璃絲編織護套K分度熱電偶用補償電纜 KX-HF4PB 聚四氟絕緣對絞銅絲編織分屏蔽玻璃絲編織護套K分度熱電偶用屏蔽補償電纜 KX-HF4PBP 聚四氟絕緣對絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽玻璃絲編織護套K分度熱電偶用屏蔽補償電纜 KX-HF4BP 聚四氟絕緣對絞銅絲編織總屏蔽玻璃絲編織護套K分度熱電偶用屏蔽補償電纜 注： ① 其他型號補償電纜SC、KC、EX、JX、TX、NC、NX等,只需改寫型號的項，如：EX-VPV； ② 屏蔽型式有：P：銅絲屏蔽，P1：鍍錫絲屏蔽，P3：鋁/聚酯復合膜，P2：銅塑復合膜； ③ 氟塑料絕緣和護套高溫補償導線用氟塑料整體連續(xù)擠出，具有很好的電性能和耐酸堿油水性能。 ④ 一般用（G）普通級和精密級（S）以及耐熱用（G）普通級和精密級（S）補償電纜在訂貨注明即可。 ⑤ 本安補償電纜需在原型號前加“IA-”，如：IA-KX-VPVP；需阻燃補償電纜，應在原型號前加“ZR-”。
西班牙Zigor AVC DVR動態(tài)電壓調(diào)節(jié)器
西班牙Zigor AVC DVR動態(tài)電壓調(diào)節(jié)器
IQAQ羅托克執(zhí)行器
IQ羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、IQT中國羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、IQM羅托克執(zhí)行器、AQ羅托克執(zhí)行器、IQS羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、中國羅托克、羅托克電動執(zhí)行器供應廠、
一、羅托克電動執(zhí)行器 概述：
羅托克閥門執(zhí)行器/羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、中國羅托克、羅托克電動執(zhí)行器供應廠系列智能型電動執(zhí)行機構(gòu)（電動頭）是當今世界頂尖智能產(chǎn)品。先進的超大規(guī)模的數(shù)字集成芯片，專業(yè)的數(shù)字力矩傳感器和數(shù)字位移傳感器、全中文菜單操作和顯示、機電一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計，造就了其完美的功能、優(yōu)異的性能、輕巧美觀、調(diào)試簡單、操作方便。與閥門配套，組成執(zhí)行單元，應用于電站、石油、鋼鐵、化工、輸油管道、污水處理等自動控制系統(tǒng)中，既能滿足頻繁調(diào)節(jié)控制，又能滿足斷續(xù)控制的要求。（閘閥、截止閥、隔膜閥等）
報價及技術(shù)參數(shù)咨詢致電：183 6236 2988熱線：0514-8763 9999，陳軒/女士
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二、產(chǎn)品執(zhí)行的標準代號及名稱： Q/ZTK 01-2009《智能型電動執(zhí)行機構(gòu)》1、智能型電動執(zhí)行機構(gòu)的主要特點： 1、采用大規(guī)模的數(shù)字集成芯片，功能強大，精度等級高。 2、機電一體化設(shè)計，體積小，重量輕。 3、采用專業(yè)的壓力傳感器測量輸出軸的力矩值，因此提高了力矩測量值的準確度，誤差率≤5%并可動態(tài)監(jiān)視、顯示。 4、過力矩、堵轉(zhuǎn)可報警。 5、位移傳感器采用霍爾傳感器，并對脈沖信號數(shù)字量化處理，因此閥門定位精度的基本誤差為1級精度。 6、執(zhí)行機構(gòu)的功能、參數(shù)設(shè)置、調(diào)試和現(xiàn)場電動操作都通過手持式紅外線遙控器進行設(shè)定，毋需打開箱蓋。 7、全中文及字符顯示，菜單式操作，直觀明了，易學、易懂、易操作。
三、智能型電動執(zhí)行機構(gòu)的功能： 1、具有行程限位保護功能 、 2、具有力矩限位保護功能、 3、具有狀態(tài)指示觸點功能：（1 ） 中途限位 （2 ） 執(zhí)行器正在打開 （3 ） 執(zhí)行器正在關(guān)閉 （4 ） 執(zhí)行器正在運行 （5 ）就地停止 （6 ） 就地控制 （7 ） 遠程控制 （8 ） 開閥聯(lián)鎖 （9 ） 關(guān)閥聯(lián)鎖 （10 ） 手輪操作中 （ 11 ） 開閥力矩跳斷 （12 ） 關(guān)閥力矩跳斷 （13 ） 行程中力矩跳斷 4、閥門報警功能 （1 ）過力矩報警功能 a、關(guān)方向過力矩 b、開方向過力矩 （2 ） 堵轉(zhuǎn)報警功能 a、關(guān)方向堵轉(zhuǎn) b、開方向堵轉(zhuǎn) 5、控制報警功能 （1 ） 緊急事件 （ESD） 報警保護 （2 ） 斷信號保護 6、執(zhí)行機構(gòu)報警功能 （1 ） 電機過熱保護 （2 ） 控制箱過熱保護 （3 ） 電池電量低保護 （4 ） 內(nèi)電源故障保護 （5 ） 電源缺相、掉相保護 （6 ） 內(nèi)部系統(tǒng)故障保護 （7 ） 當前閥位信號掉失保護 （8 ）就地接線故障報警 ＊ 瞬時反向保護功能 ＊ 就地控制點動 * 自保持選擇功能 ＊ 觸點方式選擇功能 ＊ 外部聯(lián)鎖保護功能 ＊ 條件控制保護功能 ＊ 兩線控制保護功能 ＊ 力矩旁路保護功能 ＊ ESD超越保護功能
＊中斷設(shè)置功能＊ 附加指示觸點功能 ＊ 遙控器設(shè)定功能 ＊ 執(zhí)行機構(gòu)顯示功能
四、羅托克電動執(zhí)行器驅(qū)動裝置：
三相電源相序自動判別功能系列多轉(zhuǎn)式智能型電動執(zhí)行機構(gòu)系列多轉(zhuǎn)式智能型電動執(zhí)行機構(gòu)由三相伺服電動機驅(qū)動，通過蝸輪蝸桿減速，揚州恒川電動閥門有限公司帶動空心輸出軸轉(zhuǎn)動。在該減速箱中，具有手動/自動切換機構(gòu)。當切換手柄處于手動位置時，操作手輪，通過離合器帶動空心輸出軸轉(zhuǎn)動。當電動操作執(zhí)行機構(gòu)時，手動/自動切換機構(gòu)自動回落，離合器和蝸輪相嚙合，由三相電動機驅(qū)動空心輸出軸。同時在電動機驅(qū)動蝸桿軸上裝有力矩傳感器；在空心輸出軸上通過傘齒輪嚙合將行程傳輸?shù)轿恢脗鞲衅魃稀?/span>
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多轉(zhuǎn)式智能型電動執(zhí)行機構(gòu)的智能控制器，接受標準模擬電流控制信號或開關(guān)量控制信號，同時與閥位傳感器的位置信號相比較，將執(zhí)行機構(gòu)的輸出軸定位于和輸入信號相對的位置上，完成定位控制，又可以根據(jù)聯(lián)鎖控制、兩線控制或事件信號定位于控制系統(tǒng)預先設(shè)置的位置，除非在運行過程中發(fā)生執(zhí)行機構(gòu)的輸出軸轉(zhuǎn)矩值大于額定轉(zhuǎn)矩值或設(shè)定轉(zhuǎn)矩值，否則執(zhí)行機構(gòu)的智能控制器將滿足控制系統(tǒng)的要求，發(fā)生正確的指令，觸發(fā)三相固態(tài)繼電器，使電動機接通三相電源，驅(qū)動執(zhí)行機構(gòu)正常運行。 多轉(zhuǎn)式智能型電動執(zhí)行機構(gòu)采用非侵入式設(shè)計，通過手持式遙控器即可對執(zhí)行機構(gòu)的參數(shù)、功能進行修正或組態(tài)設(shè)置。
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1.執(zhí)行器、閥門電動裝置產(chǎn)品名稱與型號。
2.執(zhí)行器、閥門電動裝置配套的閥門介質(zhì)、溫度、壓力、口徑。
3.其它是否帶附件以便我們的為您正確選型。
4.若已經(jīng)由設(shè)計單位選定【揚州恒川】產(chǎn)品型號，請按型號直接向我司銷售部訂購。
5.當使用的場合非常重要或環(huán)境比較復雜時,請您盡量提供設(shè)計圖紙和詳細參數(shù)，由我們的恒川閥門執(zhí)行器專家為您審核把關(guān)。
6.感謝您訪問我們的網(wǎng)站【http://www.cnhc-v.com】如有任何疑問.您可以致電給我們,我們一定會盡心盡力為您提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及滿意服務全球熱線：0514-8763 9999
IQ羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、IQT中國羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、IQM羅托克執(zhí)行器、AQ羅托克執(zhí)行器、IQS羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行器、中國羅托克電動執(zhí)行機構(gòu)、羅托克執(zhí)行器、羅托克電動執(zhí)行器供應廠
IL-ICP裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）處理系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹：IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）處理系統(tǒng)、感應耦合等離子（ICP）蝕刻/沉積等離子系統(tǒng)
高性能深反應離子刻蝕（DRIE）及低溫等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)
IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）處理系統(tǒng)是一款配備裝載互鎖裝置的深反應離子刻蝕（DRIE）及低溫等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)。一款全新定義深反應離子刻蝕（DRIE）及低溫低損傷 等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）等離子處理新概念的等離子處理系統(tǒng)。
該深反應離子刻蝕（DRIE）及低溫等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基于模塊化設(shè)計制造，采用一款通用的真空處理艙及機柜。深反應離子刻蝕（DRIE）及低溫等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)采用感應耦合等離子（ICP）蝕刻或沉底部電極模塊化設(shè)計理念，方便整體系統(tǒng)的組裝及配置；系統(tǒng)集成配備裝載互鎖。
深反應離子刻蝕（DRIE）及低溫等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)主要性能簡介
. 等離子工藝處理的研發(fā)需要多功能且可靠的設(shè)備。為了滿足等離子研究日新月異的要求，用戶選購的系統(tǒng)設(shè)備滿足最大范圍的等離子工藝參數(shù)需要，工藝驗證需要極其高的可重復性，必須方便改造用于新的等離子工藝需要。我們相信IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）蝕刻/沉積等離子系統(tǒng)滿足這些非常苛刻的要求。
IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）蝕刻/沉積等離子系統(tǒng)是一款用于研究，工藝開發(fā)及其小批量生產(chǎn)的等離子系統(tǒng)工具，用于最大八英寸（200mm）基片的精密等離子刻蝕及沉積。該等離子系統(tǒng)可以容納處理多塊晶圓片。
在設(shè)計IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）蝕刻/沉積等離子系統(tǒng)之初，主導指示就是創(chuàng)造一款融合高質(zhì)量、可靠、重復性及其用于生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝控制能力為一體的等離子系統(tǒng)；同時極大的降低主機成本、維護成本及占地面積小等要求。
IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）處理系統(tǒng)具有獨特的機體結(jié)構(gòu)和電極設(shè)計，方便安裝在層流模塊中或是超凈間。該系統(tǒng)的建造采用高質(zhì)量認可的部件、模塊化裝配、多功能真空艙體及其電極設(shè)計、結(jié)構(gòu)緊湊、自動化及業(yè)內(nèi)認可工藝程序使得IL裝載互鎖式（Load Lock） 感應耦合等離子（ICP）處理系統(tǒng)成為工藝工程師首選干法設(shè)備。
裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）蝕刻/沉積等離子系統(tǒng)裝載互鎖式模塊
IL裝載互鎖式（Load Lock）感應耦合等離子（ICP）處理系統(tǒng)配備一個真空裝載互鎖模塊，該裝載互鎖模塊采用鋁材建造。裝載互鎖式系統(tǒng)處于大氣壓，接近真空工件分級和進入模塊。在無需對真空艙室泄壓的情況下，這些模塊化設(shè)計是傳送工件進出真空系統(tǒng)的方便且實用的方式。裝載互鎖式系統(tǒng)極大提高了效率及產(chǎn)量，同事降低了循環(huán)時間，更重要的是極大降低了污染。裝載互鎖式系統(tǒng)在可控的環(huán)境條件下，工件進出真空處理艙室變得容易。裝載互鎖式系統(tǒng)可容納4英寸至8英寸直接的晶圓片，且配備一個特制末端執(zhí)行器。在裝載互鎖模塊及處理艙室直接通過一個隔離閥分開傳送的工件。
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